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团簇式OLED真空蒸镀工艺装备品牌
鹏城微纳产地
沈阳样本
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团簇式OLED真空蒸镀工艺装备是自主“OLED真空蒸镀工艺装备”，是“卡脖子”的35项关键技术的第六项。项目技术团队已完成G1(1代线) 和G2.5（2.5代线）的研发设计和生产制造。
项目技术团队已经解决了大部分关键技术问题（如：源炉技术、精准对位技术（对位精度达到1.5μm）、精密蒸镀电源技术、原位膜厚测量技术、高真空传递机械手、电控系统及自动化控制软件等）。
公司可对外承接OLED的G1和 G2.5工艺线的设计制造。
技术指标
| 指标 | 参数 |
|---|---|
| 对位精度 | CCD精密对位≤1.5 υm，机械对位≤150 υm |
| 膜厚均匀性和重复 | ±2% |
| 总体技术路线 | 采用Cluster方案 |
| 工艺流程 | 设计-审核-外协-组装-电气安装-调试-出厂 |
设备构成
应用领域
可广泛用于OLED器件开发、量子点开发、薄膜太阳能电池器件研发、OLED微显示的研发和生产、OLED材料验证、VR（Micro-oled虚拟现实）、OLED照明等。
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