控制方式：
自动靶材材质：
Au 靶为标配，可选 Pt，直径 57mm x 0.1mm 厚靶材尺寸：
-样品仓尺寸：
-样品台尺寸：
可以装载 12 个 SEM 样品座，高度可调范围为 60mm溅射气体：
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SBC-16 是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统，特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。
主要特性
通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程，避免样品表面受损。
操作容易快捷， 控制的参数包括放气以及氩气换气控制。
数字化的喷镀电流控制不受样品室内气压影响，可得到一致的镀膜速率和**的镀膜效果。
可使用多种金属靶材：Au， Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au 靶为标配）， 靶材更换快速方便。
技术参数
溅射系统 | |
靶材 | Au 靶为标配，可选 Pt，直径 57mm x 0.1mm 厚 |
标准样品台 | 可以装载 12 个 SEM 样品座，高度可调范围为 60mm |
旋转倾斜样品台（选配） | 旋转速度： 0~60rpm 连续可调，倾斜角度： -90 °~ 90°连续可调； 不锈钢腔体：直径 120mm X 高 75mm； 观察窗：直径 120mm X 高 45mm； 标配旋转台直径 40mm，可放 4 个标准样品台， 其它规格可订做； 具有双重锁紧装置， 可确保样品在旋转倾斜时不会松动脱落。 |
溅射电流 | 微处理器控制， 安全互锁，可调，电流 5~30mA，程序化数字控制 |
计量表 | 真空： Atm - 1*10-3 mbar，电流： 0~99mA |
控制方法 | 带有 “开始”“暂停”按钮的微处理控制器（1－999s），自动抽气、溅 射、关机后自动放气。 |
真空系统 | |
抽气速率 | 133L/MIN |
极限真空 | 10-4 mbar 级 |
噪音 | 56dB |
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