控制方式：
其他靶材材质：
-靶材尺寸：
2英寸样品仓尺寸：
-样品台尺寸：
-溅射气体：
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主要特点：模块设计，易于安装体积小巧；自动化高，一键启动运行；功能性强，支持多种靶材镀膜；稳定性好，高效成膜质量可靠。
真空室尺寸(mm)：Φ114×H128；
溅射靶材尺寸(mm)：2英寸(厚度≤2mm)；
样品台：带1个Φ50mm样品台和7个Φ13mm 扫描电镜样品杯，电动旋转。
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