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1、 晶圆槽式浸泡式腐蚀清洗,特制转笼晶圆自动旋转和自转。
2、 工艺结果具备高度的均匀一致性,确保腐蚀效果。
3、 工艺过程中完全自动化控制,自主研发控制系统,友好的人机交互界面。
4、 氮气鼓泡功能,运行中氮气管路可在酸槽内平行均匀移动,鼓泡速率可调节。
5、 化学药液多级精细过滤,循环利用并自动补液功能。
6、 具有MES系统的信息交互通讯能力。
7、 化学药液具备InLine加热冷却恒温功能。
8、 配置完善的晶圆倒片专用装置。
9、 提供标准的制程解决方案。
10、清洗机通过硬件、软件配置来较大限度的保护硅片,在异常状况下设备出现Down机,立刻调动机械手将硅片从化学药液槽中取出,放至QDR水槽中冲洗,能够避免化学药液对硅片的过度腐蚀。在极端条件下,机械手出现Down机,设备立刻将化学药液槽中的化学药液排掉,然后注入UPW,从而也能减小化学药液对硅片的过度腐蚀。
11、加工能力: 晶片直径4英寸至12英寸,每次数量75片/6英寸,50片/8英寸/12英寸
腐蚀精度: 平整度增量δTTV≤1.5μm。
使用领域: 晶圆减薄,表面腐蚀。
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