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1、无刷伺服电机驱动,保证设备稳定可靠及洁净度要求。
2、 迷宫式氮气密封,腔内与腔外隔离,无接触式密封效果,确保工艺环境要求。
3、 采用PTFE 气控阀组件,PVDF 管路及接头。
4、采用316L 不锈钢材质,表面电解抛光处理。
5、冲洗,吹净,吹干,烘干功能,利用高速旋转离心力,把残留附着化学试剂及颗粒尘埃甩除,
同时洁净氮气把残留颗粒尘埃带走,使产品表面洁净干燥洁净。
6、静电消除功能,产品高速运动时会产生静电,利用高压除静电装置使产品表面达到中和状态。
7、机械自复位功能,停机待机片盒朝上。
8、氮气压力,门密封状态,片盒朝上等条件保护。
9、 控制单元独立控制,独立运行,操作简单,维修方便。
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