上海三研科技有限公司.
首页 > 产品中心 > 定制加工件 > 高精度程控匀胶机
产品详情
高精度程控匀胶机
高精度程控匀胶机的图片
参考报价:
面议
品牌:
关注度:
5929
样本:
暂无
型号:
SYSC-100A
产地:
信息完整度:
典型用户:
主要用于微电子、半导体、制版、新能源、生物材料、光学器件等领域的表面涂膜工艺,例如各类纳米薄膜材料、光阻涂覆、生物功能涂层的制备。
索取资料及报价
认证信息
高级会员 第 8
名 称:上海三研科技有限公司.
认 证:工商信息已核实
访问量:167774
手机网站
扫一扫,手机访问更轻松
产品分类
公司品牌
品牌传达企业理念
产品简介

               

SYSC-100A型高精度程控匀胶机(Spin Coater),是**一代旋转涂膜设备。 精密高速伺服电机驱动,转速达8000rpm,转速精准。 **旋转加速度可达40000rpm/s(有负载的真实加速度)。 全自动程序控制。 超强耐腐蚀,304不锈钢机身,腔体采用NPP材料,旋转台采用PEEK材料。 安全保护功能,真空吸片检测,腔体关闭检测。 主要用于微电子、半导体、制版、新能源、生物材料、光学器件等领域的表面涂膜工艺,例如各类纳米薄膜材料、光阻涂覆、生物功能涂层的制备。

一.    产品应用  

SYSC-100A高精度程控匀胶机(Spin Coater),又称为旋转涂膜仪,是**一代旋转涂膜设备。具有速度精度高、转速稳定、旋转加速度可控、匀胶过程多段程序控制等特点。主要用于微电子、半导体、太阳能电池、新能源、生物材料、光学器件等领域的表面涂膜工艺,例如各类纳米薄膜材料、光阻涂层、生物功能涂层的制备。  

二.    产品特点  

1.     旋转电机采用专为匀胶机设计的精密高速伺服电机,具有高精度、高稳定性、高可靠性。  

2.     优异的旋转加速性能,**旋转加速度可达40000rpm/s(有负载的真实加速度)  

3.     两项安全互锁功能  

 (1) 匀胶腔体具有开启、关闭的检测功能,确保腔体关闭后才可启动,防止匀胶过程中飞片造成人身伤害;  

 (2) 真空吸片具有真空检测功能,若发生真空泄漏,基片无法吸附牢固,则立即停止运行。  

4.     机身外壳采用SUS304不锈钢制作,防腐蚀、不生锈、易清洁。  

5.     匀胶腔体采用德国劳士领NPP材料,经CNC一体加工成型。接储脱离基片的胶液,避免进入真空管路和设备内部。耐腐蚀、易清洁。  

6.     旋转吸片台采用德国劳士领PEEK材料,经CNC一体加工成型。耐高温、耐腐蚀、不变形  

7.     匀胶过程全自动分段程序控制。整个匀胶过程*多可分十段进行,每段的加速时间、旋转速度、匀胶时间均可精密控制、连续可调。可储存50组工艺程序,随时调用。  

8.     7英寸液晶触摸屏使控制更方便;运行状态及各项参数实时显示,更直观了解匀胶进程;  

9.     真空泵的开启与关闭均为自动程序控制,无需手动操作。  

10.   旋转前增加预吸片步骤,预吸片时间*多为99s,确保基片牢固吸附于旋转台后再进行旋转涂膜。匀胶完成后增加解吸片步骤,解吸片时间*多为99s,确保安全停止后再切断真空,释放基片,防止涂膜后的基片滑落,对膜层造成损伤。  

11.   标配无油真空泵,低噪音。大吸力将基片紧紧吸附于旋转台,防止飞片。  

三.    技术参数  

产品型号  

SYSC-100A  

可镀膜基片尺寸  

Ø10100mm  

旋转速度  

10~8000rpm  

转速分辨率  

1rpm  

速度精度  

0.02%  

旋涂加速度*  

040000rpm/s  

每段加速时间  

999.9s  

每段旋涂时间  

9999.9s  

时间分辨率  

0.1s  

预吸片时间  

99s  

解吸片时间  

99s  


***旋涂加速度为有负载条件下(使用≤Ø50mm基片)的真实加速度.  

  • 推荐产品
  • 供应产品
  • 产品分类
我要咨询关闭
  • 类型:*     
  • 姓名:* 
  • 电话:* 
  • 单位:* 
  • Email: 
  •   留言内容:*
  • 让更多商家关注 发送留言