氧化亚硅半连续气相沉积炉

设备名称∶氧化亚硅半连续气相沉积炉

应用领域∶氧化亚硅半连续量产

工艺描述∶高真空脱氧，气相沉积，自动研磨刮

料、炉外收集。可配AGV智能物流车

技术参数：

1．型号：MGB150-130VH

2. 技术参数：装料罐尺寸Φ1500　X　1300，装料量２．５T，工作温度１３５０℃，极限温度1６00℃，真空度0.５-2.5Pa，气氛类别：Ar/N2，总功率500KW，工序时长２４H/炉。

3. 产品特点：适用于动力电池负极材料（氧化亚硅等可气相沉积材料）大批量生产；温差控制精度高，高温高真空；具备高真空脱氧，脱脂、脱水、混炼反应、气相沉积材料自动研磨刮料、炉外收集等特殊工艺能力。完全自主知识产权设计制造，一次装料量大，生产效率极高，全程全封闭全自动化作业（可配AGV智能物流车），生产能耗相比普通单体炉降低约50%，性能稳定，主要元器件皆为进口大品牌。保修期一年，售后服务高效、专业。