Park NX20 300mm

可用于 300mm晶片圆测量和分析的**自动化纳米测量工具

Park NX20      300mm是业界**大样品原子力显微镜，支持300mm×300mm全程机动化。新升级的Park      NX20系统专为失效分析和质量控制实验室设计，可有效地检测整个300mm晶圆，且无需任何繁琐的样品位移。尽管扩大了支持300mm样品的机动XY工作台，但Park的创新性振动隔离技术仍然能够将系统噪声保持在低于0.5      (Å) RMS，通常是0.3 Å RMS的水平。

经检验的原子力显微镜性能和单击-原子力显微镜自动化取消了样本调整的需求，并使Park    NX20的扫描过程尽可能高效和便于使用。通过我们的“批处理模式(Program    Mode)”界面，用户可以在整个300mmx300mm区域轻松实现可靠与可重复的顺序多站点测量。NX20    300 mm从而成为需要扫描大样品的FA、QA和QC工程师的**。

专为大样品晶圆检测而建

NX20 300  mm进行了全新设计，可达到大样品的**测量。整个300mm晶圆区域可进行低噪声原子力显微镜测量分析。这开启了一个全新的自动化测量范围，让工程师可以更快捷、更简便、更精确地开展工作。