电子光学系统

分辨率

5nm (30kV， 二次电子成像)

8nm（30kV， 背散射电子成像)）

放大倍率

20x~150，000X

加速电压

1~30kV (1/5/10/15/20/30~6step)

探测器

二次电子探测器（SE）

背散射电子探测器（BSE）

电子枪

预对中钨灯丝

偏压系统—自动偏压系统

载台系统

载台运动

5轴系统 （电动式）

X， Y-轴: 40mm / R-轴: 360°

Z-轴: 0~40mm

Tilt-轴: -15~90°

X，Y轴偏移（Max.150μm）

**样品尺寸

80mm（Φ）*40mm（H）

成像系统

自动功能

自动启动，自动聚焦，自动消像散，自动调节对比与亮度

图像格式

BMP， JPEG， PNG， TIFF

相机格式

CCD相机

真空系统

真空模式

高/低真空

真空泵

旋转式机械泵/涡轮式分子泵（全自动）

尺寸与重量

主机

390(W)x380(D)x560(H)mm， 88kg

旋转泵

400(W)x160(D)x340(H)mm， 24kg