日本ULVAC公司生产的DC电源，除用于AL，Ni等DC磁控溅射外，组合异常放电防止器A2K使用，可脉冲正向电压

对SiN，DLC等反应性DC溅射工艺.中和其靶材表面电荷.消除灭弧，保证高速成膜.还可以作为偏压电源使用.

针对已成型溅射工艺设备.进行加装及更换均可.实现低成本的前提下增加产量，保证成品率.

DCS系列，DPG系列的型号参数:

型号DCS0052BDCS0202BDCS0402BDPG-10DPG-10HDPG-20DPG-20HDPG-30R

额定功率500W2KW4KW10KW10KW20KW20KW30KW

**输出电压800V同左同左同左1000V800V1000V1200V

**输出电流1.25A5A10A25A16.7A50A33.3A55A

无负荷电压-1100V以上〃〃〃〃〃〃〃

输入电压95~121V单相190~242V3相AC208V同左同左同左同左AC380V~480V

190~242V单相

使用温度范围0~40度同左同左10~40度同左同左同左同左

使用湿度范围0~90%同左同左0~90%同左同左同左同左

控制器内置同左同左同左同左同左同左选项.

并联**功率独立同左同左**12台(总功率120~240KW)240KW