透射电子显微镜

透射电镜

**个专门用于半导体行业的TEM

Thermo Scientific Metrios™系统是**台透射电子显微镜（TEM），专用于提供半导体制造商开发和控制其晶圆制造工艺所需的快速，精确的测量。基本TEM操作和测量程序的广泛自动化将对专业操作员培训的要求降至*低。其先进的自动计量例程比手动方法具有更高的精度。与其他TEM相比，Metrios TEM旨在为客户提供更高的通量和更低的每样品成本。

半导体的Metrios SEM

大量TEM数据，准确且可重复-以*低的每次采样成本

Thermo Scientific Metrios™透射电子显微镜（TEM）是**款专门提供半导体制造商开发和控制其晶圆制造工艺所需的快速，精确测量的TEM。

先进的逻辑和存储器制造过程越来越依赖于精确结构和分析数据的快速周转，从而能够快速校准工具集，诊断良率偏差并优化过程良率。在低于28nm的技术节点上，尤其是在实施非平面器件设计的情况下，传统的SEM或基于光学的分析和检查工具无法提供有用的数据。我们的Metrios TEM自动执行基本的TEM操作和测量程序，并**限度地减少了对专业操作员培训的要求。其先进的自动计量例程比手动方法具有更高的精度。Metrios TEM旨在以*低的每次样品成本提供大量TEM数据，准确且可重复的操作。

Thermo Scientific™Metrios™DX TEM结合了可靠的技术和创新的新功能，是半导体和存储环境的**平台，需要对越来越复杂的结构和不断缩小的几何尺寸进行大量精确的测量。

主要好处

始终如一的，可重复的，精确的，从头开始的设计，可提供可重复的TEM和基于S / TEM的成像，分析和可计量的计量，而无需操作员偏见

保证计量精度，TEM和S / TEM的畸变和放大率校准中的组合误差小于1％

自动化的EDS和混合计量，通过自动化获取和量化EDS数据。在关键的关键尺寸上使用元素对比来扩展STEM

通过样品制备，拔除和成像跟踪工作流程的连通性，关键过程数据。可以离线应用计量，以**程度地获取工具。所有成像和计量数据都整合在基于Web的图像查看器中。