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中科院匀胶机旋涂仪涂胶机KW-4T片托吸盘
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产品简介

技术参数及要求:

基片尺寸:Φ5-Φ100mm 圆片,ZUI大100×100mm2 方片

转速:250-9000RPM

旋涂设置:任意阶段之间均可任意升降调节

转速稳定性:<±1%

旋涂均匀性:<1%

旋涂工艺阶段:6 段

旋涂时间:单步工艺0-1800s,可根据客户需求调节

整机尺寸(长宽高):210mm×280mm×248mm

裸机尺寸(长宽高):210mm×280mm×155mm

电机功率:40W

适应材料:硅片、玻璃、石英、金属、GaAs、GaN、InP 等各种材料

配套无油真空泵参数:

型号:KW-550A/KW-550T

抽速:1.5 升/秒

功率:320W

噪音:50db

ZUI低真空度:-700mmHg

重量:7.3Kg

尺寸(长宽高):240mm×160mm×230mm

抽气速率:>60L/min

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