技术参数及要求：

基片尺寸： φ5-100mm圆片，*/大 100×100mm 2 方片

转速： 500-8000转/分

转速稳定性： 1%

旋涂均匀性： 1

旋涂工艺阶段： 2 段

旋涂时间：Ⅰ速0~18S，*/大（0~60S）；Ⅱ速0~60S，*/大（0~180S）

整机尺寸（ 长宽高 210 mm × 2 6 0 mm × 275 mm

裸机尺寸 长宽高 210 mm × 2 6 0 mm × 1 55mm

电机功率： 40W

适应材料：硅片、玻璃、石英、金属、 GaAs 、 GaN 、 InP 等各种材料

配套 无油真空泵参数：

型号： K W 550A/KW 550T

抽速： 1 .5 升 秒

功率： 3 20W

噪音： 50db

ZUI低真空度： 700mmHg

重量： 7.3 Kg

尺寸 长宽高 2 40mm40mm×160mm×230mm 抽气速率： ：>60L/min