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镀膜仪108AUTO
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暂无
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美国
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产品简介

108Auto是一款结构紧凑的离子溅射镀膜仪,它可以手动或者自动操作,特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。

主要特性

  • 自动的换气与泄气功能,可以得到一致的膜厚,和**的导电喷镀效果。

  • 通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程,避免样品表面受损。

  • 操作容易快捷,可全自动或手动进行喷镀操作,控制的参数包括自动放气以及氩气换气控制。

  • 在自动模式下,可通过两种方式进行控制镀膜过程。可通过数字显示器控制得到可重现的喷镀效果,

  • 通过使用MTM-20高分辨膜厚控制仪(选件)在达到设定膜厚时停止喷镀过程。

  • 可用MTM-20高分辨膜厚控制仪(选件)手动停止喷镀过程。

  • 数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响,可得到一致的镀膜速率和**的镀膜效果。

技术参数

溅射系统
样品室大小直径120mm x 120mm (4.75 x 4.75")
靶材 Au 靶为标配, Au:Pd, Pt, Pt:Pd (选件);大小:直径57mm x 0.1mm厚
样品台可以装载12SEM样品座,高度可调范围为50mm
溅射控制 微处理器控制,安全互锁,可调,电流10、20、30、40mA,程序化数字控制
溅射头低电压平面磁控管,靶材更换快速,环绕暗区护罩
模拟计量 真空: Atm - 0.001mbar
厚度监控

(选件)

使用MTM-20高分辨厚度控制仪(选件)自动终止溅射过程,或使用MTM-10高分辨厚度监控仪(选件)手动终止溅射过程
控制方法自动气体换气和泄气功能,自动处理排序,带有“暂停”控制的数字定时器(5300s),自动放气.整个操作亦可全手动控制。
真空系统
真空泵 2级直连式高速真空泵
抽气速率 3.0 m3/小时 ,真空度到 0.1mb所需时间30秒.
桌上系统真空泵可置于抗震台上,全金属集成耦合系统
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