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产品简介
技术特色：
• 独有聚焦微束惰性气体离子束
• 极低修复电压：50 eV
• 聚焦束斑直径：1μm
• 定位精度高，去除非晶层且不产生再沉积现象
• 采用氩离子束激发二次电子成像同时实现修复及定位
• 离子束可以对准定点位置或在一个选定的区域进行进行精细修复
• 配备液氮冷台，去除热损伤
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