似空科学仪器(上海)有限公司
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扫描电子显微镜S-3700N
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产品简介

扫描电子显微镜(SEM)现今已经延伸到广大企业单位,不仅在学术研究领域,各行各业均有广泛应用,与此趋势相对应,用户需要观测和分析的样品种类也有所扩大。S-3700N的开发正是完全考虑了上述广泛的多元化应用的需求,此款产品的标准配置包含一个二次电子检测器,一个五段分割背散射电子(BSE)探测器和可变压力(VP)模式。

这就使得绝大部分的样品观测,可以去除过去传统的扫描电镜必须的金属喷涂,可在自然状态下直接观察含水样品。

S-3700N有一个巨大的样品室,可容纳直径达300 mm和高度达110 mm的样品。样品室设置有多种配件端口,可以适应电镜在当今极其广泛的应用需求,这些配件包EDX,WDX,EBSD,样品室监视装置,冷台等。此款产品的多功能性以及灵活的系统配置,能够很好地满足您现今以及未来的各项需求。

特色

  • 特大型的样品室可装载**直径达300 mm的样品,还可同时安装EDX/WDX/EBSD等配件。其可载样品高度可达110 mm。

  • 5轴马达驱动优中心倾斜、旋转、图像导航系统、样品台追踪、轨迹存储与中心复位等样品台的马达控制功能一应俱全。

  • S-4800,SU-70及S-3400N均具有用户友好的GUI设计,这使得操作者经过简单培训即可操作。

  • 显示系统有全屏显示,无闪烁,高像素和实时图像显示等优异的性能,它还可以实时信号混合并同时显示两个不同的检测器观测到的互不相同的样品信息。

  • 可变压模式不需要金属喷涂,可以直接观察不导电样品。

  • 高灵敏度半导体背散射电子检测器可以在快速扫描模式下运行,这使得寻找大尺寸样品中感兴趣的区域更为简单和便利。

  • 标准配备涡轮分子泵(TMP),其清洁和干燥的真空条件**限度地减少了样品污染。区别于传统的扩散泵扫描电子显微镜,此款产品不需较大的加热功率或循环水箱,从而使得它成为一款节能,生态环保的扫描电子显微镜。

规格参数

项目描述
分辨率二次电子分辨率30 kV时,3.0 nm(高真空模式)
3 kV时,10 nm(高真空模式)
背散射电子分辨率30 kV时,4.0 nm(低真空模式)
放大倍率×5 - ×300,000
加速电压0.3 - 30 kV
低真空范围6 – 270 Pa 图形菜单
图像移动±50 μm (WD= 10 mm)
**样品尺寸Φ300 mm
样品台X150 mm
Y110 mm
Z5 - 65 mm
R360°
T-20° - 90°
观测区域Φ203 mm(可旋转)
**高度110 mm (WD= 10 mm)
样品台控制计算机控制5轴马达驱动优中心
电子光学电子枪预对中钨灯丝
物镜光阑可移动式4孔物镜光阑
枪偏压带可控4偏压
检测器埃弗哈特 索恩利二次电子检测器
高灵敏度半导体背散射电子探测器,五分割
分析位置WD = 10 mm, 取出角 = 35°
显示器控制模式操纵杆,键盘和旋钮
显示器19.1英寸液晶平面显示器(如有更改,恕不另行通知)
自动合轴自动设定束流,自动合轴
自动图像调整自动聚焦,自动消象散/聚焦,自动调整亮度和对比度
存储图像精度640 × 480 像素, 1,280 × 960 像素
2,560 × 1,920 像素, 5,120 × 3,840 像素
图像文件格式BMP, TIFF, JPEG
图像显示模式全屏显示:1,280 × 960 像素
小屏显示:640 × 480 像素
双屏显示:640 × 480 像素 × 2
信号混合模式
真空系统操作全自动程序
涡轮分子泵210L/sec. × 1
机械泵135 L/min.(162 L/min. 60Hz) × 1
安全措施断电保护,漏电保护
辅助功能光栅旋转,动态消像散
动态聚焦/倾斜补偿功能
自由排版打印功能,字母/数字功能
三维动画维修指南
导航,测量方便,倾斜画面
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