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适合ΘX-Z运动的倾斜平移台
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法国
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产品简介

倾斜平移台采用了2个APA®致动器,可以产生两种类型的运动:

?Z当两个致动器同步致动时,轴运动(平移)可达80μm

?当两个致动器相反致动时,ΘX运动(平移)可达+/- 0.6°

倾斜平移台TT60SM基于APA60SM而设计,配备应变计以消除回程差。如果只要求倾斜运动,仅需要一个通道。TT60SM要求使用推拉式驱动器。

参数

单位

TT60SM

型号

V- TT60SM

备注

-

传感器

SG

主动轴

TZ,RX

**空载位移[Tz]

um

80.0

角位移[Rx]

mrad(+/-)

11.00

Y方向的**面外位移

um

25.0

电压范围

V

-20…150

硬度

N/um

2.0

高度(Z 轴)

mm

18.0

宽度(Y 轴)

mm

13.0

长度(X 轴)

mm

25.0

纵向分辨率[Tz]

nm

0.8

角度分辨率[Rx]

urad

0.1

质量

g

65

空载共振频率(在致动方向)

Hz

3000

响应时间

ms

0.17

电容 (每个电气接口)

uF

1.55

机械接口(有效负载)

平坦表面 2.5 *8mm2

机械接口(框架)

2 M2螺纹孔

电气接口

4 PTFE insulated AWG 30 wires 100 mm long withФ1 banana plug

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