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YAMATO雅马拓等离子清洗机PM100
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日本
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产品简介

经济型、通过等离子化气体的活性作用对处理对象表面进行改质、清洗

特点

● 经济型等离子清洗机。

● 简单的等离子处理操作。

● 无需高频使用申请。

值得期待的应用案例

<清洗>

● 有机膜的去除(油,蜡等有机膜)。

● 电子零件,光学零件和微小部件的清洗、电镀、涂层前处理。

● 细菌的消毒等(通过氧自由基进行细胞膜的蚀刻或通过紫外线进行消毒)。

<表面改质>

● 高分子材料表面的官能基付与→ 粘合性,密着性提高。通过氧化反应,在表 面生成-OH, >C=O, -COOH等官能基(微量的水分及二氧化碳影响);

● 电子零件,光学零件和微小部件的清洗、电镀、涂层前处理。

● 细菌的消毒等(通过氧自由基进行细胞膜的蚀刻或通过紫外线进行消毒)。 同样,氮气等离子时,表面吸取氮原子生成-NH2官能基。

● 提高各种聚合物的粘结性以及提高医科齿科材料的生物相容性等。

● 通过处理培养皿可以在其上均匀涂抹培养基等。

<蚀刻>

● 有机高分子材料的蚀刻。对于有机高分子氧气成为蚀刻气体,可以进行抗蚀剂的蚀刻。

● 促进种子发芽等实验。

规格

型号

PM100

等离子发生源

低频高电压电源,输出约100W,周波数60KHz、输出电压10kV

电机构造

电容型 2分割

气体流量计

氧气用、流量30~300mL/min

真空调整阀门

抽真空用,回大气用

反应腔尺寸

内径100mm×深度**约200mm

外形尺寸(宽×深×高mm)

310×300×448

电源 50/60Hz

AC100V 10A(含真空泵Max7A)

真空泵接口

外径Φ6.35mm(推荐真空泵排气速度30L/min)

气体接口

外径Φ6.35m

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