Automegasamdri-938， Series C

产品特点：

◆ 新配置的专用“慢充”控制，给样品腔体提供理想的二氧化碳流体动力学，保护了大多数易脆样品；

◆ 外部配置了PURGE后的过滤装置，保护样品，容易更换和后期维护；

◆ 采用了****的“Vortex Swirl”非机械搅拌，使PURGE完全而不至于破坏样品；

◆ 高效内部封闭冷却循环系统，可以快速冷却腔体温度，缩短操作时间；

◆ 内置SOTER冷凝器，分离废弃乙醇和废气，消除排气噪音；

◆ 独特的样品室填块，可以改变样品室直径，减少液态二氧化碳的消耗量和处理时间，并兼容不同尺寸晶圆的处理；

◆ 内部过滤系统，过滤流进样品室的液态二氧化碳，过滤颗粒*低尺寸达到0.08μm；

◆ 一次运行可以处理5片8英寸晶圆，改变样品室尺寸，每次运行也可以分别处理6英寸、4英寸、3英寸、2英寸晶圆及10mm方晶；

◆ 标配特氟龙兼容的8英寸、6英寸、4英寸、3英寸、2英寸晶圆样品架和10mm方晶样品架各1个；

◆ 垂直样品室，内腔有照明，样品室盖子带观察窗；

◆ 明亮的LCD触屏控制；

◆ 内置出厂自动运行程序并可创建和保存个性化程序；

◆ 所有内部表面适用于CO2，丙酮和超纯乙醇；

◆ 可以重复设置的参数，确保结果的可重复性；

◆ 集成自动控温和静态压力控制模块，确保自动安全的运行；

◆ 洁净室和防静电兼容设计；

◆ 所有电气部件符合UL、CE和U.S.Military标准；