Automegasamdri-915B， Series B 临界点干燥仪

特点：

1.6”圆晶MEMS释放后的超临界点干燥仪；

2.洁净室和防静电兼容设计；

3.通过微处理控制器来保证自动处理过程的进行及结果的可重复性；

4.所有内表面均适用于液态二氧化碳、高纯乙醇和丙酮；

5.可重复设定的操作参数确保了结果的可重复性；

6.每个操作模式LED显示，一目了然;

7.集成自动控温；

8.内置圆盘裂片保证安全；

9.可以一次干燥5片直径为6”的圆晶，更换样品架，也可以一次干燥5片直径4”、3”、2”的圆晶或5片边长为10mm的方晶（提供HF兼容的样品架）；

10.静态压力控制模块，自动控制系统压力和保持压力稳定性；

11.0.4μm内部过滤器系统输送清洁的过滤后的LCO2到样品室；

12.内腔有照明灯，样品室盖子带观察窗，便于观察样品室内部状态；

13.拥有高效隔热的冷却系统，使系统能够迅速从室温降到将近0°C；

14.标配SOTER^TM冷凝器，分离废弃乙醇和废气二氧化碳。

15.样品室填块可以调整样品室内径到4”、3”，2”，1.25”，使LCO2的使用效率和处理时间达到**化;

16.所有电气部件符合UL、CE和U.S.Military标准；

规格：

1.外部尺寸：宽14.25” (36.2 cm) × 高11.75” (29.8 cm) × 长25.0” (63.5cm)；

2.占地尺寸：宽42” (107 cm) × 深30” (76 cm)；

3.样品室尺寸：内径6.50” × 深1.25”，样品室容积：679 ml;

4.温度范围：- 30 ℃ 至 60 ℃，压力范围：0 - 2000 psi；

5.LCO2的流速是通过带游标卡尺的微型微型计量阀门来控制；

6.120V/50-60HZ(可选其他电压)；

标准配件：

1.高压不锈钢LCO2管（内衬Teflon） 3 米长；

2.外部LCO2过滤装置，去除水/油以及颗粒（小至0.5μm），过滤装置可预先与LCO2管连接，安装方便；

3.SOTERTM冷凝器，分离废弃乙醇和废气二氧化碳，降低排气噪音；

4.防静电排气管，用于PURGE/VENT/BLEED和COOL时的排气；

5.内部的不锈钢过滤系统和镀镍的过滤系统共同保护线路、晶片和阀门

样品室O型圈3个，样品室照明灯2个，5A保险丝2个；

6.4个Teflon样品室填块，使得样品室直径包括6”、4、3、2和1.25英寸;

7.直径为6、4、3、2英寸圆晶的样品架和边长为10 mm方晶样品架，样品架HF兼容；

8.流量计，可精确控制BLEED的排气速率；

9.用户手册；

10.所有部件一年质保。