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Automegasamdri-915B, Series B 临界点干燥仪
特点:
1.6”圆晶MEMS释放后的超临界点干燥仪;
2.洁净室和防静电兼容设计;
3.通过微处理控制器来保证自动处理过程的进行及结果的可重复性;
4.所有内表面均适用于液态二氧化碳、高纯乙醇和丙酮;
5.可重复设定的操作参数确保了结果的可重复性;
6.每个操作模式LED显示,一目了然;
7.集成自动控温;
8.内置圆盘裂片保证安全;
9.可以一次干燥5片直径为6”的圆晶,更换样品架,也可以一次干燥5片直径4”、3”、2”的圆晶或5片边长为10mm的方晶(提供HF兼容的样品架);
10.静态压力控制模块,自动控制系统压力和保持压力稳定性;
11.0.4μm内部过滤器系统输送清洁的过滤后的LCO2到样品室;
12.内腔有照明灯,样品室盖子带观察窗,便于观察样品室内部状态;
13.拥有高效隔热的冷却系统,使系统能够迅速从室温降到将近0°C;
14.标配SOTERTM冷凝器,分离废弃乙醇和废气二氧化碳。
15.样品室填块可以调整样品室内径到4”、3”,2”,1.25”,使LCO2的使用效率和处理时间达到**化;
16.所有电气部件符合UL、CE和U.S.Military标准;
规格:
1.外部尺寸:宽14.25” (36.2 cm) × 高11.75” (29.8 cm) × 长25.0” (63.5cm);
2.占地尺寸:宽42” (107 cm) × 深30” (76 cm);
3.样品室尺寸:内径6.50” × 深1.25”,样品室容积:679 ml;
4.温度范围:- 30 ℃ 至 60 ℃,压力范围:0 - 2000 psi;
5.LCO2的流速是通过带游标卡尺的微型微型计量阀门来控制;
6.120V/50-60HZ(可选其他电压);
标准配件:
1.高压不锈钢LCO2管(内衬Teflon) 3 米长;
2.外部LCO2过滤装置,去除水/油以及颗粒(小至0.5μm),过滤装置可预先与LCO2管连接,安装方便;
3.SOTERTM冷凝器,分离废弃乙醇和废气二氧化碳,降低排气噪音;
4.防静电排气管,用于PURGE/VENT/BLEED和COOL时的排气;
5.内部的不锈钢过滤系统和镀镍的过滤系统共同保护线路、晶片和阀门
样品室O型圈3个,样品室照明灯2个,5A保险丝2个;
6.4个Teflon样品室填块,使得样品室直径包括6”、4、3、2和1.25英寸;
7.直径为6、4、3、2英寸圆晶的样品架和边长为10 mm方晶样品架,样品架HF兼容;
8.流量计,可精确控制BLEED的排气速率;
9.用户手册;
10.所有部件一年质保。
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