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匀胶机,旋涂仪,甩胶机,EZ8,安赛斯,美国进口
根据可旋涂尺寸大小,有EZ4,EZ6,EZ8,EZ12等多个产品系列,产品详情请登录安赛斯(中国)有限公司官网查询。
产品介绍:
名称:高精密匀胶机
型号:SC100-SE
产地:
应用:在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。
产品描述:
Smart Coater®精密匀胶机是一种小型、灵活和经济的旋转匀胶设备,它可以实现价值百万美元设备(track)的上才可能达到稳定性和均匀性。 不锈钢外壳比塑料或者烤漆金属更耐久和美观;工业级别200瓦伺服电机系统,采用与track设备相同设计和程序,使您的工艺更具有实际应用意义;同类产品中**的**达到50000RPM/S的旋转加速度,确保旋转匀胶的稳定性和极高的可重复性。
性能指标:
·主机机箱采用不锈钢材料(抗化学腐蚀易清洁)
·旋涂程序:*多可存100组程序,每组100步,每个步骤可精确到0.1秒
·转动速度:0-10,000rpm(更高速可选)
·旋涂加速度:0-50,000rpm/sec(空载)
·马达旋涂转速稳定性能误差< ±1rpm
·转速调节精度<1rpm,重复性< 1rpm
·工艺时间设定: 0-3,000 sec/step,时间设置精度:0.1sec
·支持wafer尺寸25px-200mm(8”圆晶)
·旋涂作业均匀性:< ±3% 在6英寸范围内(需要去除边缘3毫米区域测量)
产品优点:
·**的内部紧凑设计,缩小了设备的尺寸。
·7"触屏控制面板操作系统,更方便操作。
·Telon ®/polyethylene “密闭碗”设计可适合各种材料匀胶工艺。
·标准配置转速10000rpm,并可根据用户需要进行定制。
·采用工业级别伺服电机,电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。
·机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢,永不生锈,便于清洗。
·排风和抽气系统位计于载片台之底部(以利于排风效率和匀胶均一性)。
·透明可视,耐化学腐蚀的密封盖,可以在旋涂作业时完全隔绝光阻的溢出及有效隔绝有毒气味的散发。
产品外型尺寸:
433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 标准设备结构
306mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 可选分体结构
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