工作原理

离子减薄制样技术属于离子束加工范畴。其方法是用高能离子束轰击样品表面、高能离子与样品表面原子发生弹性碰撞、样品表面原子能量增大至高于该原子逸出功时，便飞离样品，从而使样品逐渐减薄。离子减薄仪通常用双枪从样品两侧轰击。样品随着支架旋转，使得离子束轰击均匀。

产品描述

GL2011型离子减薄仪由国内顶尖专家精心设计制作，性能稳定，应用广泛，可对金属、非 金属、陶瓷、矿物、半导体、骨骼、牙齿等几乎所有固体材料进行精密减薄处理。

产品特点

• 多功能样品台，兼具离子减薄和离子抛光功能

• 离子束流自动控制

• 监视系统采用聚光光源

• 减薄过程无离子束遮挡

• 精心设计防污染观察系统

• 结构紧凑，体积小，精密

  设计，防误操作系统

• 样品洁净，样品信息更为

  真实可靠

产品名称

离子减薄仪

离子束加速电压

0-10KV 连续可调

**束流密度

大于 200μA/cm

减薄速度 ( 铜)

30μ/h（**）

样品对离子束的倾角

5-90°（普通台） 0-90°（精细抛光台）

真空度

5×10-3Pa（不送气）

离子束对样品的*小倾角

7°（普通试样台） 2°（抛光试样台）

减薄20微米

减薄25微米

案例说明：

样品为约100u的铝箔，表面为铝的氧化物。用化学方法或者物理摩擦的方法减薄，都会非常明显的破坏样品表面形貌，甚至改变样品化学成分。

使用GL-2011型离子减薄仪减薄后，在电子显微镜下可以观察到，样品没有任何变形，而且获得**清晰的样品图像。