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名 称：上海载德半导体技术有限公司认 证：工商信息已核实
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产品分类
公司品牌
品牌传达企业理念
产品简介
技术规格：
- 多矩形阴极;
- 射频或直流溅射(RF， DC);
- 基底尺寸：30cm x 40cm;
- 沉积时衬底振荡;
- 常用于ITO， AZO等膜层的沉积;
- 均匀性：优于5% (沉积TCO或金属薄膜);
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