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产品简介
磁控溅射镀膜机 - 紧凑,适合科研,极高性价比!
型号:AP-MMS1
产地:韩国原装进口
仪器特点:
1/ 沉积材料:金属、氧化物等;
2/ 膜厚均匀性:≤ ± 5 % (4英寸基底);
3/ 沉积方式:直流磁控溅射,射频磁控溅射;
4/ 极限真空:5.0 x 10 -6 Torr;
技术规格:
1/ **样品尺寸:6英寸;
2/ 基底旋转:0~10rpm;
3/ 不锈钢腔体,ID250 x H300 mm;
4/ 真空泵:机械泵,150L/Min;
5/ 靶枪:2英寸直径 (选配:3英寸);
6/ 直流电源:2KW(800V - 2.5A);
7/ 气体传输模块:MFC控制,氩气,100sccm;
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