仪器简介：

JSM-6510扫描电子显微镜

JSM-6510A/ JSM-6510LA分析型扫描电子显微镜，与日本电子公司的元素分析仪（EDS），统合于一体。结构紧凑的EDS由显微镜主体系统的电脑控制，操作员只用一只鼠标，就可完成从图像观测到元素分析的整个过程。

操作窗口

直观的操作界面的设计，简明易懂便于迅速掌握操作。

支持多用户

单个用户可以根据常用功能设置相应的图标，营造快捷的操作环境。用户登录时，即可加载已注册过的设定。

同时显示两幅图像

画面上并列显示二次电子成像和背散射电子成像这两种实时图像。可同时观察样品的形貌和组成分布。

微细结构测量

适合于多种测量功能。可在观察图像上直接进行测量。也可将测量结果贴至SEM图像，保存在文件中。

标准的全对中样品台，能收录三维照片

3D Sight（选配件），能够进行平面测量和高度测量，实现立体俯视图。

从图像观察到元素分析，配合连贯一条龙

分析型扫描电子显微镜配备两台监视器，一台用于SEM图像观察和另一台用于元素分析（EDS）。一只通用鼠标即可同时控制两台监视器。大尺寸画面使操作更加简便与舒适。

维护简便

工厂预置中心灯丝，十分便于更换。因此，可长期保持稳定的高性能。此外，操作界面还能以映像形式显示灯丝维护的步骤说明。

可信赖的真空系统

真空系统使用高性能的扩散泵保证了洁净的高真空状态。扩散泵内部无活动部件，体现了操作稳定，维护简便的特色。

JSM-6510规格
保证分辨率	3.0nm（30kV） 8.0nm（3kV） 15nm（1kV）
放大倍数	5至300，000x
加速电压	0.5kV至30kV
电子枪	工厂预对中灯丝
聚光镜	变焦聚光镜
物镜	锥形物镜
样品台	全对中样品台
X-Y	80mm-40mm
Z	5mm至48mm
旋转	360°
倾斜	－10°至＋90°
排气系统 （高真空模式）	DPx1，RPx1
排气系统 （低真空模式）	DPx1，RPx2

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