瞬态(近红外)激光波前畸变检测干涉仪是将空间位相调制的共路剪切干涉技术与数字化波面高新计算技术相结合研制的新颖干涉系统，是浙江大学光电系现代光学仪器重点实验室、杨甬英等教授集多年基础、数年攻关完成的目前国内首台利用干涉方法仅需单幅干涉图就可以高分辨率检测各类高、低功率的脉冲激光、连续光波前畸变、检测各类高精度大口径精密表面的面形、动态检测各种流体的变化等。仪器抗噪、抗干扰性好特别适合于现场的实时检测。波前及面形的检测分辨率高，可高精度测量较大的波前畸变量，可以用于瞬态图象高速采集及检测。波前检测软件输出信息量丰富、可适用于不同波段的可见光、红外波段的检测。经权威单位与ZYGO干涉仪比对测试，近红外脉冲激光波前畸变检测的波前均方根已优于1/15波长。瞬态激光波前畸变检测干涉仪已达到国际先进、国内**的**。

仪器技术指标：

1、应用波长：从紫外、可见光至中远红外波段（波长可根据用户不同要求确定）；

2、光束接收口径：F10mm ～用户任定口径；

3、仪器精度及重复性：波前均方根优于1/15波长；

4、测量范围：波前畸变检测量可达50 mm；

5、可用于脉冲光、连续光、各类精密表面面形测量：测量脉冲激光的脉宽可达1ns；

6、光学系统具有高激光损伤阈值；

7、高分辨率数据采集系统:科学级CCD相机，空间分辨率至1024×1024以上或用户定；

8、仪器利用共路剪切干涉技术，抗振动性好，可放于任何工作台现场使用；

9、光束波前诊断软件包：

给出检测波前位相（可以是光束波前、面形或流体的形变等）的三维图形、等高图、波前畸变的PV 值、均方根值、波面梯度值等；

给出表征光束能量分散度的Streh1比；光学系统象差的评价参数OTF和PSF；

软件具有友好的图形工作界面，工作于Windows 2000以上平台，软件有各类数据图象及数据输出功能。

应用范围：

本仪器是动、静态皆可检测的系统，可应用于航空、航天、航海及国民经济诸多领域：

1. 配备高速的CCD与图象转换系统，可以检测具有较大畸变、快速变化的气体折射率密度场、高速绕流流场，获取高速飞行体在各个瞬间状态的三维流场的相关参数。并且可以应用于流体显示技术、空气动力学方面的研究。

2. 良好的抗振性特别适合于在车间、现场进行各类精密表面面形的分析测量、不同尺寸的光学元件、硅片、金属表面面形、非球面等各类元件的精密检测。

3. 可以检测各类高能激光系统的静态、动态波前畸变，特别为1053nm的近红外脉冲波前检测提供一个高精度、高分辨率的检测结果。系统配备标准近红外光源，可以检测1053nm 波段的各类光学材料的透射特性参数。

图2是系统软件输出界面。

图3是已实际用于纳秒级高能脉冲波前检测的干涉图。

图4是纳秒级高能脉冲波前重构的三维图。