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日本理学Rigaku nano3DX是一款真正的X射线显微镜(XRM),能够以高分辨率测量相对较大样品的3D计算机断层扫描(CT)图像,这是通过使用高功率旋转阳极X射线源和高分辨率探测器来实现的。
nano3DX允许通过改变X射线波长来增强对比度或穿透力,拓展了可检测样品的类型,包括那些具有低吸收对比度的样品(例如CFRP)、或更密集的材料(如陶瓷复合材料),因此,nano3DX扩展了无损成像的范围,使研究中至关重要的灵活性和洞察力有了重大突破。
nano3DX特征
◆ 高功率旋转阳极X射线源
◆ 多种靶材可供选择(Cr,Cu和Mo),可得到不同波长的特征X射线,以优化不同样品基质的成像
◆ 光学耦合高分辨率探测系统,多种物镜可供选择
◆ 快速数据采集,源自于高亮度的X射线源和高分辨率探测系统,速度比同类产品快3倍以上
◆ 低Z材料的高对比度,实现了优于0.13g/cm3的密度分辨率
◆ 支持原位实验
◆ 高分辨率:空间分辨率优于400nm(特殊定制可达100nm)
◆ 宽视野:采用相同分辨率和扫描时间,FOV比同类系统大5倍以上
nano3DX典型应用
日本理学nano3DX适用于逆向工程、产品研究、失效分析、高可靠筛选、质量评价、改进工艺等无损检测和评估工作。常用于各类材料(如合成材料、陶瓷复合材料等)、电子半导体元器件、地矿标本、仿生材料、生化物质等的计算机断层扫描成像,现已广泛应用于以下领域:
◆ 材料学:结构材料、复合材料的微观特性分析,探讨/解析样品内部结构
l金属材料、合金/铸造:航空航天, 精密制造, 半导体零部件
l复合材料
l高分子材料/聚合物:纤维材料, 发泡材料, 橡胶, 树脂, 高分子聚合物
◆ 工程材料:建筑材料内部孔隙度、连通度和渗透性分析
◆ 储能设备:质量控制、新产品开发的结构试验、失效分析等
◆ 农牧业:动植物组织,木材和农产品(如种子)的质检和分析
◆ 古生物学和考古学:种系鉴定、化石的结构分析,文物保护和修复
◆ 地质:矿物勘察、地质分布、油气藏开发等
◆ 半导体:元器件的结构分析
应用案例:
CFRP材料曾被认为很难通过X射线成像分析。由于nano3DX具有0.13g/cm3的密度分辨率,可以清晰的区分CFRP中碳纤维、环氧树脂和材料孔隙的显微结构,以三维形式观察,并可测量空隙数量、体积和方向。
碳纤维增强聚合物(CFRP)。图像为1.8mm×1.8mm×1.4mm,体积由3300× 3300×2500体素表示。在相同的分辨率、时间范围内,单次扫描的测量体积比其他系统大25倍。
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