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高功率DPSS纳秒激光器
InnoSlab短脉冲和超短脉冲激光器标准产品包括以下各种电光调Q的InnoSlab激光器，使用不同的激活介质， 具有不同的脉冲能量、输出功率和波长:
· 光束质量: M2 < 2
· 脉冲能量可达到 60mJ
· 脉宽可达到 4ns以下
· 峰值功率可达到 7MW
· 脉冲重复频率可到 150 kHz
· 平均功率可达 600W
· 波长 1064、 532、 355、266nm
InnoSlab激光器和放大器的一个与众不同的杰出特性在于其光束形状可量身定制: 从圆形高斯模式到一维线状平顶以及两维方形平顶等等。
高功率DPSS纳秒激光器应用领域：
· 光伏行业，例如硅晶园的划片、打孔和切割；薄膜太阳能电池和晶硅太阳能电池导电层和绝缘层的烧蚀
· 显示领域，如导电层的织构化和玻璃切割
· 玻璃工业，如微钻孔和高速亚表面内雕
· 电子工业，例如对印刷电路板的切割和钻孔
· 工具制造和机械工程，如三维烧蚀快速成形
面板切割微结构加工航空材料加工
高功率DPSS纳秒激光器技术参数
型号 | BXxx-1 | BXxx-2 | BXxx-3 | BXxx-4 | ISxx-1 | ISxx-2 | ISxx-3 | ISxx-4 |
波长（nm） | IR | Green | UV | DUV | IR | Green | UV | DUV |
光束质量M2 | 1.1 | 1.1 | 1.6 | 2 | 1.1 | 1.1 | 1.6 | 2 |
**平均功率（W） | 80 | 40 | 12 | 6 | 400 | 200 | 70 | 20 |
**重频频率（KHz） | 100 | 100 | 10 | 10 | 150 | 150 | 15 | 15 |
**单脉冲能量（mJ） | 7 | 3 | 1.5 | 1 | 60 | 30 | 15 | 4 |
*小脉宽（ns） | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
能量稳定性（%）rms | 1 | 2 | 3 | 3 | 1 | 2 | 3 | 4 |
偏振比 | >100:1 | >100:1 | >100:1 | >100:1 | >100:1 | >100:1 | >100:1 | >100:1 |
光斑椭圆度（远场）[%] | <10 | <10 | <10 | <10 | <10 | <10 | <10 | <10 |
光斑直径（mm） | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 |
发散角（全角，μrad） | 500 | 250 | 241 | 226 | 500 | 250 | 250 | 225 |
预热时间（min） | 15 | 20 | 30 | 30 | 15 | 20 | 30 | 30 |
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