测量元素：Na~U

X射线管：铑（Rh）靶 /管电压 50 kV / 管电流 1 mA

X射线荧光检测器：SDD硅漂移检测器

透过X射线检测器：NaI（Ti）晶体

X射线导管：单毛细管 10μm / 100μm 无滤光片

光学图像：样品整体光学像及共轴放大图像

样品台尺寸：XY：100mm×100mm

样品仓：全真空模式/ **真空 300mm×300mm×80mm

信号处理：数值脉冲处理器（INCA处理器 ）

定性分析：自动定义谱峰/ KLM线标注/ 谱峰查找/ 谱峰匹配

定量分析：无标样基本参数法/ 标准无标样基本参数法/ 标准文件匹配基本参数法/ 校正曲线/ 多层膜基本参数法/ 多点分析（*多5000）/ 多点结果输出至Excel®

面扫描功能：透过X射线像/ 元素面分布图/ 谱图面扫描 /矩形面扫描/ 生成谱图/ RGB合成/ 标尺/ 线分析

其它功能：可同时开启XGT-5200操作软件