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名 称:苏州德龙激光股份有限公司认 证:工商信息已核实
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产品分类
产品简介
■ 设备优势
◆ 激光器自制,自主可控
◆ 工艺窗口较广,可兼容其他材料的退火要求
◆ 符合SEMI行业标准
■ 应用领域
应用于碳化硅晶圆片的背金激光退火(以碳化硅材料为基板的晶圆)。
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