认证信息
高级会员 第 1 年
名 称:艾佩科(上海)气体有限公司认 证:工商信息已核实
访问量:17115
手机网站
扫一扫,手机访问更轻松
产品分类
产品简介
六氟乙烷(C2F6) | |
化学式 | C2F6 |
中文名称 | 六氟乙烷 |
英文名称 | Hexafluoroethane |
CAS No. | 76-16-4 |
分子量 | 138 |
充装系数 | 1.06kg/L (气瓶公称工作压力12.5MPa时) |
应用 | 在等离子工艺中作为二氧化硅和磷硅玻璃的干蚀气体。可用于金属硅化物及金属氧化物并相对其金属基质的选择性蚀刻。亦可用于蚀刻硅上的二氧化硅。六氟乙烷可连同三氟甲烷一起用于制冷剂。 |
六氟乙烷(hexafluoroethane),又称全氟乙烷,是乙烷中六个氢原子全部被氟原子取代后的产物,是卤代烃,亦是烃类化合物乙烷所对应的全氟化合物,是一种不易燃的气体,难溶于水,微溶于醇。
- 推荐产品
- 供应产品
- 产品分类