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产品分类
产品简介
| 设备概述
使用高精密电主轴,高速驱动金刚石砂轮,加工粘贴在陶瓷盘上的产品。减薄过程中,产品厚度实时测量,直至达到设定的目标厚度。自动清洗磨削残留物,通过机械手自动上/下陶瓷盘完成自动上料和下料。
| 应用领域
应用于碳化硅(SiC)、硅(Si)、氮化镓(GaN)、锗(Ge)、砷化镓(GaAs)、磷化铟(InP)等半导体材料的快速薄化,同时可用于蓝宝石、陶瓷、水晶,以及棱镜等光学产品的加工。
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