主要技术参数： . 双工位，可同时抛光两个8英寸晶圆，定制不同的抛 光头，可兼容6寸、4寸、2寸或更小尺寸晶圆的抛光； .具有定时功能，设定抛光工作时间，到点自动停机； .盘速5-200rpm,缓启缓停，通过触控显示界面设定参数 控制转速，抛光盘具有水冷功能，能精确控制盘温； .配置两个蠕动泵，可精确控制送料均匀度； .抛光头转速0-200rpm可调；摆动幅度±20mm可调，抛 光头通过压缩空气加压,0-5bar可调，根据需要可定制2 区或3区、4区抛光头，不同区位可调节不同压力; .抛光工艺可以储存，工艺可保持一致性和重复性