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名 称：碳方程半导体设备制造（山西）有限公司认 证：工商信息已核实
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产品简介
TFC-10800D，微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）设备是***的 CVD系统。针对用户的具体要求设计和研制的一台多用途、高稳定中等压强微波等离子体（MPCVD）综合设备。
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