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名 称：碳方程半导体设备制造（山西）有限公司认 证：工商信息已核实
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产品简介
TFC-6500B，微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）设备是***的 CVD 系统。针对用户的具体要求设计和研制的一台多用途、高稳定中等压强微 波等离子体（MPCVD）综合设备。
产品特性
* 高纯高真空不锈钢腔体(无硅污染 )
★ 可95%功率高效稳定运行
★可单次生产7*7 mm单晶毛坯21粒
★ 水冷却腔体(无风冷噪音)
★ 可均匀生产2 inc多晶
★ 产品净度等级可达VVS级
*生长机台可自动调节范围达15MM
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