广东鸿浩半导体设备有限公司
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产品详情
PECVD
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参考报价:
面议
品牌:
鸿浩半导体
关注度:
356
样本:
暂无
型号:
PECVD
产地:
广东
信息完整度:
典型用户:
暂无
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高级会员 第 1
名 称:广东鸿浩半导体设备有限公司
认 证:工商信息已核实
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产品简介

核心技术:

多站式(Multi-Stantion)设计,系统具有优异的膜厚均匀性;

模组化机台设计能够针对客户的需求做设计;

射频功率设计,使反应物能在低温的状态下达到高速率的沉积,进而提高产能;


先进性:

具有多站式(Multi-Stantion)设计,能够实现高重复性,使薄膜沉积的更加均匀;

优化RF功率,使薄膜应力及反射率达到**数值


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