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产品分类
产品简介
单面抛光机
TAP-400/450/500/600 series
该系列抛光机是双轴高精密单面抛光设备，设备可依据不同晶圆配置相应抛光头，真空吸附固定晶圆，气囊加压，抛光压头自转并兼具摆动功能，适用于各种半导体材料的抛光。
TAP-400TAP-450TAP-500TAP-600
抛光盘规格OD400 mm
抛光头数量2个
抛光头摆动摆幅摆速可调
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