山东联盛电子设备有限公司
首页 > 产品中心 > 清洗/消毒设备 > 全自动单片清洗机
产品详情
全自动单片清洗机
全自动单片清洗机的图片
参考报价:
面议
品牌:
山东联盛
关注度:
10
样本:
暂无
型号:
全自动单片清洗机
产地:
山东
信息完整度:
典型用户:
暂无
索取资料及报价
认证信息
高级会员 第 1
名 称:山东联盛电子设备有限公司
认 证:工商信息已核实
访问量:315
手机网站
扫一扫,手机访问更轻松
产品分类
公司品牌
品牌传达企业理念
产品简介

1、用于硅、碳化硅、氮化镓等半导体材料的单片腐蚀、清洗、刷洗工艺。

2、机台可实现多尺寸兼容(4&6寸;6&8寸;8&12寸)。

3、工艺腔体经过优化设计,高性能FFU,配合可调节高度的CUP,形成一个稳定强度的downflow,严格控制wafer表面工艺区域的动态环境。

4、可以实现药液(酸/碱/有机)的排废分离,无药液的交叉污染。

5、可适用衬底及外延清洗、PRstrip、Oxideremoval等工艺。

6、支持 GEM/SECS 协议,支持MES 系统联机。


  • 推荐产品
  • 供应产品
  • 产品分类
我要咨询关闭
  • 类型:*     
  • 姓名:* 
  • 电话:* 
  • 单位:* 
  • Email: 
  •   留言内容:*
  • 让更多商家关注 发送留言