山东联盛电子设备有限公司
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全自动单片清洗机
全自动单片清洗机的图片
参考报价:
面议
品牌:
山东联盛
关注度:
80
样本:
暂无
型号:
全自动单片清洗机
产地:
山东
信息完整度:
典型用户:
暂无
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高级会员 第 1
名 称:山东联盛电子设备有限公司
认 证:工商信息已核实
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产品简介

1、用于硅、碳化硅、氮化镓等半导体材料的单片腐蚀、清洗、刷洗工艺。

2、机台可实现多尺寸兼容(4&6寸;6&8寸;8&12寸)。

3、工艺腔体经过优化设计,高性能FFU,配合可调节高度的CUP,形成一个稳定强度的downflow,严格控制wafer表面工艺区域的动态环境。

4、可以实现药液(酸/碱/有机)的排废分离,无药液的交叉污染。

5、可适用衬底及外延清洗、PRstrip、Oxideremoval等工艺。

6、支持 GEM/SECS 协议,支持MES 系统联机。


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