山东联盛电子设备有限公司
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产品详情
铝腐蚀清洗机
铝腐蚀清洗机的图片
参考报价:
面议
品牌:
山东联盛
关注度:
90
样本:
暂无
型号:
铝腐蚀清洗机
产地:
山东
信息完整度:
典型用户:
暂无
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高级会员 第 1
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产品简介

1、机台采用进口劳士领板材,长期可工作在酸腐蚀环境,坚固耐用,双层防漏 。

2、采用 HF+HNO3/H3P04+HNO3等工艺对硅片表面腐蚀清洗的工艺设备,可清洗4“,5”,6“硅片。

3、可设计手动全自动运行设计,全自动运行方式采用两只独立机械臂运行,可上下提动。

4、清洗能力:4~6寸圆片,25片2篮/批

5、各工艺槽温度可控,独立控制。

6、各工艺槽模组化设计,腐蚀槽、纯水冲洗槽放置在一个统一的承漏底盘中。腐蚀槽设计底部排风,降低排风量。

7、工艺槽可设计提动动作,清洗更快更彻底。

8、控制部分采用进口品牌PLC 和HM ;

9、机台前部配备有PTFE纯水枪和PTFE氮气枪各1只置于右侧。

1、机台采用进口劳士领板材,长期可工作在酸腐蚀环境,坚固耐用,双层防漏 。

2、采用 HF+HNO3/H3P04+HNO3等工艺对硅片表面腐蚀清洗的工艺设备,可清洗4“,5”,6“硅片。

3、可设计手动全自动运行设计,全自动运行方式采用两只独立机械臂运行,可上下提动。

4、清洗能力:4~6寸圆片,25片2篮/批

5、各工艺槽温度可控,独立控制。

6、各工艺槽模组化设计,腐蚀槽、纯水冲洗槽放置在一个统一的承漏底盘中。腐蚀槽设计底部排风,降低排风量。

7、工艺槽可设计提动动作,清洗更快更彻底。

8、控制部分采用进口品牌PLC 和HM ;

9、机台前部配备有PTFE纯水枪和PTFE氮气枪各1只置于右侧。

10、设备设计标准按半导体行业标准(SEMI-S2-93)执行,ISO9001质量管理体系进行规范和保证。


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