1）： 适用于对硅片、蓝宝石片、氮化镓、砷化镓、碳化硅片等半导体晶圆的全自动离心脱水、氮气吹扫烘干等； 

2）： 适用于2-12”晶圆的脱水甩干； 

3）： 配备电导率测试仪，可选清洗终点判定依据； 

4）： 配备旋转支架：工作转速 ：400-2200rpm；转速误差<5%；平衡等级：G40；采用光盘自动定位，定位可靠； 

5）： 触摸屏+PLC控制方式； 

6）： 配备静电消除装置：将带电离子吹向甩干桶内以中和桶内静电离子。