编号：CYYJ043324
篇名：基于InSe/MoTe2异质结构的超灵敏宽光谱光电探测器
作者：邢艳辉 贺雯馨 韩梓硕 关宝璐 马海鑫 马晓辉 韩军 时文华 张宝顺 吕伟明 曾中明
关键词： 二维材料 宽带光电探测器 光栅效应 超灵敏
机构： 北京工业大学微电子学院光电子技术教育部重点实验室 长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米加工平台
摘要： 基于光栅效应的二维材料垂直结构可实现高灵敏度和宽光谱光探测器。本文报告了一种基于硒化铟(InSe)/二碲化钼(MoTe2)垂直异质结构的高灵敏度光电探测器,该探测器在365~965 nm波长范围内具有出色的宽光谱探测能力。顶层的InSe用作调节沟道电流的光栅层,MoTe2则用作传输层。通过结合两种材料的优势,该光电探测器的响应时间为21.6 ms,比探测率在365 nm光照下可以达到1.05×1013Jones,在965 nm光照下也可达到109 Jones数量级。外量子效率可达1.03×105%,显示出强大的光电转换能力。
