柔性电路板在线式等离子表面处理机：诚峰智造

真空式等离子处理系统CRF-VPO-2L-S

名称（Name）

真空式等离子处理系统

型号（Model）

CRF-VPO-2L-S

控制系统（Control system）

PLC+触摸屏

电源（Power supply）

380V/AC,50/60Hz, 3kw

中频电源功率（RF Power）

1000W/40KHz

容量（Volume ）

10L(Option)

层数（Electrode of plies ）

2(Option)

腔体规格（Area）

220(W)*230(D)*230(H)

气体通道（Gas）

两路工作气体可选：Ar、N2、CF4、O2

产品概述

设备参数

产品特点

超大处理空间，提升处理产能，采用PLC+触摸屏控制系统，精准的控制设备运行；

可按照客户要求定制设备腔体容量和层数，满足客户的需求；保养维修成本低，便于客户成本控制；

高精度，快响应，良好的操控性和兼容性，完善的功能和专业的技术支持。

应用范围

真空等离子清洗机适用于印制线路板行业，半导体IC领域、硅胶、塑胶、聚合体领域，汽车电子行业,航空工业等。印制线路板行业：高频板表面活化，多层板表面清洁、去钻污、软板、软硬结合板表面清洁、去钻污，软板补强前活化。半导体IC领域：COB、COG、COF、ACF工艺，用于打线、焊接前的清洗；硅胶、塑胶、聚合体领域硅胶、塑胶、聚合体的表面粗化、刻蚀、活化。

电浆是物质的第四态，是一种独特的处理介质，用于处理和粗化表面。电浆表面处理设备具有独特的优势，它与表面相互作用的特点和适用范围如下。

电浆表面处理设备具有表面处理的优点，工艺的灵活性和一致性，低成本，使用方便，用户和环境安全。根据所用的加工气体和材料类型，电浆表面会发生不同的相互作用。

各种等离子体处理气体可用于化学和机械污染物的去除，氧化，激活，交联和沉积。

电浆表面处理设备性能：

什么是电浆，它是如何产生和维持的，以及它是如何与物质表面相互作用的。电浆中的大量离子、激发态分子、自由基等多种活性颗粒作用于固体样品表面，不仅能去除表面原有的污染物和杂质，还能起到腐蚀作用，使样品表面变粗糙，形成许多细小凹陷，使样品的比表面积增大。改善固体表面的润湿性。

电浆成形利用电容板或磁感应在气体区域产生RF振荡电场。

电子的电场加速以及在足够低的压力下对中性原子或场线的弹性散射的联合作用，使电子受热。中性气体中的电子获得超过电离阈的动能时，电子的中性碰撞导致进一步电离，从而产生额外的自由电子，这些电子被依次加热。

电浆表面的相互作用：

电浆表面处理设备工艺中的电子和离子的能量足以电离中性原子，使分子分离，形成反应性自由基，使原子或分子产生激发态，并对表面进行局部加热。

取决于工艺气体和工艺参数，等离子体可通过机械作用、电子和离子动态迁移与表面的腐蚀效应，以及化学反应功，使自由基与表面发生反应。

一般而言，等离子体可以通过几种机制作用并清洗表面：蚀刻、活化、沉积、交联和接枝等离子体表面。

电浆表面处理设备优势：

作用于材料表面作用：电浆等离子体处理只影响材料的近表面，对材料的块状性质没有影响。与许多湿洗工艺不同的是，电浆等离子清洗不会留下有机残留物；在适当的条件下，等离子清洗可完全除去污染物，从而产生“原子洁净”的表面。不像水洗溶液，等离子体不受表面张力的限制，能清洁粗糙、多孔或不平整的表面。在近环境温度下进行等离子体处理，可减少对热敏材料的破坏。

电浆表面处理设备工艺具有一定的灵活性和一致性，根据工艺气体和使用情况，等离子处理可用于表面特性的清洁，激活，清洗和改性变化。等离子体会与多种材料发生反应，因此，等离子体还能处理由不同材料制成的元件。

1、价格低廉/容易使用

2、电浆处理效率高，处理时间短，无干燥阶段，能耗低。

3、等离子体处理可以帮助避免热损失和溶剂损坏造成的过程损失。

4、等离子体处理比化学或机械加工更容易使用和维护，而且无需复杂的化学分析或维护。

5、电浆处理通常不需要溶剂，也不需要不断购买和加工溶剂。

6、采用电浆等离子工艺，提高了使用者和环境的安全性。

7、等离子技术可消除工人与危险化学品接触的安全风险。

8、电浆等离子体处理在接近环境温度条件下进行，不会产生安全问题。

9、可以处理复杂几何形状的三维零件。