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MicroMaster激光直写光刻机
MicroMaster激光直写光刻机

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矽万(上海)半导体科技有限公司

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MicroMaster 激光直写光刻机

MicroMaster 是一款多功能的紫外激光写入器,具有高精度的组件,专为用户在感光层上设计创建**自由度的微结构。MicroMaster 是一个完整的操作系统。它拥有405纳米波长光学模块,能够在光阻层中写入*小0.8微米的结构。这个用户友好的工具支持高达4095级的灰度或纯二进制模式,并允许3D光学结构,表面结构以及掩模项目。 激光控制的实时自动对焦和激光强度控制,确保整个曝光过程中的高质量成像。MicroMaster 广泛应用于半导体光刻, LED芯片, 微流控芯片, 微纳结构, 灰度光刻, 三维加工, 全息影像等多个领域。

MicroMaster 无掩模激光直写系统性能规格

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