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场发射扫描电镜
产品介绍：
ZEM Ultra 台式扫描电镜采用肖特基场发射电子源，三级独立真空设计，优于2.5nm的分辨率满足多数样品微纳结构表征需求。
标配大束流及大样品仓，支持原位功能样品台及EDS/EBSD拓展。
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国产电子束光刻机实现自主可控，是实现我国集成电路产业链自主可控的重要一环。近日，泽攸科技联合松山湖材料实验室开展的全自主电子束光刻机整机的开发与产业化项目取得重大进展，成功研制出电子束光刻系统，实现了
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