高真空检漏仪采用高分辨显微镜平台，xy轴微运动集成，以及高分辨电子相机和显示屏，完全契合电镜使用，具有极高的直接压力分辨率和泄漏检测灵敏度，并具有强大的扩展输入和输出、多通道参数设置和选择、大容量记录和存储、通信处理、质量检测、数据传输的功能等等。检测灵敏度高，位置精确，操作便捷。

技术参数：

1)整体尺寸：L*W*H=600*600*1250，柜台高805（单位：mm），以实物为准。

2)压力范围：0-1000mbar。

3)适用电镜样品台：FEI、JEOL、Hitachi（适配）

4)适用原位反应舱芯片：自组装键合一体式芯片，加热芯片，纳流体芯片。

5)极限真空小于等于1×10^-6 mBar，原位样品台检漏操作真空度小于等于8×10^-5 mBar。

6)接口模块含控制阀门，以在电源关闭时保持真空状态，或在检漏完成，实现检漏模块气体通入，加速样品台取出过程。

7)数字显微系统分辨率优于1微米，帧率大于等于30帧/秒。