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规格参数：
1、旋涂基材6英寸或更小
2、包括三个真空旋转卡盘
3、用于手套箱的占地面积小
4、易于使用的触摸屏界面
5、可编程旋涂工艺
6、耐用的设计以及耐化学腐蚀的材料
7、耐化学腐蚀HDPE旋转碗
8、耐用的不锈钢机身，具有耐化学腐蚀的透明旋转盖
9、4.3”触摸屏界面
10、基板尺寸：从1厘米到6英寸晶圆
11、转速范围：100-12000 RPM
12、转速分辨率：1RPM
13、加速范围：空载100-30000 RPM / s
14、程序：10个旋转程序，每个程序有10个步骤
15、安全：真空联锁和旋转盖联锁
16、尺寸：270(W)*387(D)*258(H)
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