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WOP的飞秒激光加工系统FemtoFAB
WOP的飞秒激光加工系统FemtoFAB

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顶尖科仪(中国)股份有限公司

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立陶宛Workshop of Photonics公司从2003年进入飞秒激光微加工领域,成为全球**的飞秒激光微加工设备以及解决方案提供商。

WOP主要业务包括:飞秒激光微加工可行性分析,定制飞秒激光系统和光学组件,激光微加工车间,激光微加工自动化软件,定制激光系统和设备控制电路。

飞秒激光加工系统 FemtoFAB

FemtoFAB是一款工业用飞秒激光微加工设备。配置选定后,根据客户特定激光加工应用调试,包括对任何材料激光切割,激光划片,激光钻孔,3D激光铣削(使用的激光峰值功率>2.4GW)。系统使用Class 1激光安全防护罩,通过单个SCA工程软件窗口控制。

FemtoFAB提供激光同步移动控制和/或集成扫描振镜系统控制,对不同工业微加工应用,提供**的速度和精度参数。产品在立陶宛设计和装配。

产品特点:

高加工速度,**350000px/s

加工不同物体亚微米分辨率

飞秒加工模式具有*小热影响区

直驱亚微米精度位移台

使用高性能扫描振镜精细激光束控制

点数控制(单点到350KHz)

激光脉冲和移动物体在空间和时间上同步

原版软件界面控制所有集成的硬件设备

产品应用:

微光学

光伏产业

多光子聚合

生物医学技术传感器

其他精细微加工任务

样品特性

材料

固体材料,液态聚合物

尺寸(mm)

150×150×150

光束成型和控制

脉冲选择

集成、自动控制

扫描振镜

10m/s扫描速度,5×5

聚焦

高NA非球面镜或物镜,焦长1.45-18.4mm

SLM(选配)

1920×1080,15.36mm×8.64mm,16bit,反射式

位置

类型

XYZ,线性电机,交叉定位,空气轴承(选配)

加工速度

350mm/s

工作区域(mm)

160×160

分辨率(nm)

1

位置精度(nm)

±300

重复性(nm)

±50

稳定度(nm)

3

样品支架

真空夹头

激光参数

激光介质

Yb:KGW

波长

1028±5nm

功率(W)

4(6,8,10选配)

振荡器输出功率(W)

0.7-1.5

脉冲能量(mJ)

1

重频(KHz)

200(600,1000选配)

脉宽

<200fs-10ps(可调);<80fs(振荡器)

光束质量

M2<1.2

输出脉冲稳定性

<1%RMS

谐波产生器

谐波

SH(515nm),TH(343nm)选配,FH(258nm)选配

转换效率(@200KHz)

>50%(SH),>30%(TH)选配,>10%(FH)选配

谐波产生器

功率控制

激光输出,电动衰减器

位移台控制

2.5D微加工,3D XYZ指令

控制界面

算法窗口,虚拟或GUI操纵杆

图形或矢量格式

.bmp,.plt

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