HERA-DLTS

高能分辨率深能级瞬态谱（DLTS）

PhysTech在1990年推出了**台数字DLTS，随着电脑技术的发展，使得在短时间内进行复杂计算成为可能。在纯指数发射过程模型的基础上，用各种数学模型分析测量到的瞬态过程，如傅里叶转换、拉普拉斯转换、多指数瞬态拟合、ITS（等温瞬态光谱）信号重叠法、温度扫描信号重叠法（重折叠）。与其他系统相比，HERA-DLTS具有无法比拟的能量分辨率。

半导体的掺杂浓度、缺陷能级位、界面态(俘获界面)是研究半导体性质的重要手段。此设备根据半导体P-N 结、金－半接触结构肖特基结的瞬态电容（△C～t）技术和深能级瞬态谱（DLTS）的发射率窗技术测量出的深能级瞬态谱，是一种具有很高检测灵敏度的实验方法，能检测半导体中微量杂质、缺陷的深能级及界面态。通过对样品的温度扫描，可以给出表征半导体禁带范围内的杂质、缺陷深能级及界面态随温度（即能量）分布的DLTS 谱。

特点：

• 自动接触检查

• 常规测试和加强软件

• 自动电容补偿

• 三终端FET电流瞬态测量

• 大电容和浓度范围

• 灵活性高、模块化硬件

• 支持各种冷却仓和温度控制器

• 傅里叶转换（F-DLTS），比例窗口和用户自定义校正功能

• DLTFS（深层瞬态傅里叶光谱仪）评价

操作模式：

• C-DLTS

• CC-DLTS

• I-DLTS

• DD-DLTS

• Zerbst-DLTS

• O-DLTS

• FET-Analysis

• MOS-Analysis

• ITS（等温瞬态光谱仪）

• 缺陷分析

• 俘获截面测量

• I/V， I/V(T)理查森标绘图

• C/V， C/V(T)

• TSC/TSCAP

• PITS（光子诱导瞬态谱）

• DLOS(特殊系统)

规格：

Options

• Constant Capacitance

• Optical Excitation

• Fast Pulse Interface

• ±100 V Option

• Multi Sample Interface