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椭圆偏光膜厚测量仪(手动)
椭圆偏光膜厚测量仪(手动)

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上海瞬渺光电技术有限公司

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产品特点:

? 400波长以上多通道分光的椭偏仪,高速测量椭圆偏光光谱。

? 自动变更反射测量角度,可得到更详细的薄膜解析数据。

? 采用正弦杆自动驱动方式,展现测量角度变更时优异的移动精度。

? 搭载薄膜分析所需的全角度同时测量功能。

? 可测量晶圆与金属表面的光学常数(n:折射率、k:消光系数)。

产品规格:

样品对应尺寸100×100mm
测量方式偏光片元件回转方式
入射/反射角度范围45~90o
入射/反射角度驱动方式反射角度可自动变更
波长测量范围300~800nm
分光元件Poly-chrometer
尺寸650(H)×400D×560Wmm
重量约50kg
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产品质量

10分

售后服务

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性价比

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