中小尺度纳米深度3D形状检测仪/

大样品台测量显微镜 DX 6045

DX系列光学显微镜是针对中、小尺寸触控面板之Pattern进行观察、量测。DX系列采花岗岩底座设计，可抑制环境震动的影响，提高高倍率观察量测之效率。人性化计算机量测模式、移动方式采手动快速位移及定点微调，使操作更便利、量测更迅速。

花岗岩本体结构

X/Y铝合金平台机构

气浮式快速移动机构

OLYMPUS / Leica 光学系统可搭配5X/10X/20X/50X物镜

上、下偏光功能

Nomarski 微分干涉功能

高解析彩色CCD

专业影像量测软件

PC计算机

防震机构

实物影像

1、概要

本显微镜测定器是针对中、小型触控面板之Pattern进行其尺寸量测。

花岗岩本体结构设计，可抑制环境震动的影响，提高高倍率量测之效率。

操作方式采手动快速位移及定点微调，再利用测定软件进行影像测定。

2、特点

1、基座：落地型，采用强力钢管制造及花岗岩床台，附活动轮可自由、轻易移动位置。

2、设备任何操作钮，皆采前面平台操作设计，使操作更加便捷。

3、采用精密包覆式轨道安装设计。

4、采用U型无牙滚子导轨，具有高刚性及高精度的特点。

5、五孔电动物镜转换。

6、X、Y轴安装空气离合器、大移动机构。

7、四组被动式空气防震系统，六组防震脚座，防震系统佳。

3、主要规格

3-1 测定sample

1、sample尺寸：600 * 450mm

2、sample重量：20KG以下

3、**测定物尺寸：X轴 = 800 mm、Y轴 = 700 mm

4、有效量测长尺寸：X轴 = 500 mm、Y轴 = 400 mm

3-2 Sample Stage

1、工作台面尺寸：800 * 700 mm

2、玻璃尺寸：560 * 460 * 12T mm

3-3 X、Y、Z轴

1、行程：600 * 450 mm (X、Y)

2、行程：150mm（Z）

3、X、Y驱动方式：采微调用手轮，*小微动可达1um，操作游戏杆分粗动

与微动两种速度调整。

4、Z轴采微调用手轮之操作，对焦容易。

3-4 可兼容OLYMPUS 或LEICA光学系统

3-5 机台尺寸：W1200×D760×H1400mm，落地型。

3-6 机台重量：800Kg

3-7 Utility：单相220V，20A，空压源4KG/cm2

3-8 环境：

1) 动作环境： 温度： 10~35℃，湿度：80%以下

2) 保存环境： 温度：-10~50℃，湿度：90%以下

3) 震动环境： 10HZ以下 振幅2um以下

10HZ以上 加速度0.2gal以下

4、影像量测软件系统：智能寻边影像版

影像功能 ;

校正功能 ;

SPC功能